產品名稱: wafer cassette (wafer carrier)    材質規格: PP , PVDF , PFA / 5" , 6" , 8"

產品名稱: contact ring  材質規格: PEEK+viton coating / 8" , 12"

產品名稱: chuck pin  材質規格: PVDF , ECTFE /8" , 12"

產品名稱: Rev.B & Rev.C  材質規格: PEEK / 12"

產品名稱: robot plate  材質規格: PEEK , ceramics / 8", 12"

產品名稱: wafer support  材質規格: AL + PEEK / 12"

產品名稱: screw  材質規格: PVC , PP , PFA , PVDF , PEEK…

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